簡要描述：殘余氣體分析儀是一種可用于在線監測的真空設備，主要用來檢測真空腔中的氣體成分和氣體濃度。可以達到百萬量級的動態范圍，優于1amu的分辨率，5×10-4Torr的探測限，帶有分析軟件和RS232接口。

殘余氣體分析儀

發布日期：2010/7/29

 美國斯坦福公司的殘余氣體分析儀（RGA）劃分為100、200、300amu三種型號，其優異的性能和價值是真空分析儀的產品。并且SRS提供的的價格不到同類產品的一半，每一個RGA系統都由一個四級桿探針和電子控制單元組成。實時分析的windows軟件包可以更方便的用于數據采集和分析，并可進行遠程控制。

 
是在真空腔內利用RGA離子分化器將氣體分子電離，電離后的帶電粒子進入四桿產生的偏轉電場內，由于不同的粒子質量數不一樣，在一定的電場作用下所形成的偏轉半徑就不一樣。相當于我們在四桿上加特定的電場就會有特定質量數的離子打到探測器陽上，探測器所產生的電流正比于氣體分子的濃度。進一步改變電場，就可以檢測到不同質量數離子的濃度。之后我們再做電場掃描，就可以計算出真空腔中所含氣體的成分。

具體性能參數如下：
型號
質譜范圍                        RGA100     1 to 100 amu
                                        RGA200     1 to 200 amu
                                        RGA300     1 to 300 amu
質樸濾波器類型           Quadrupole
探測器類型                   Faraday cup （FC）, standard Electron multiplier （EM）, optional
分辨率                           Better than 0.5 amu @ 10 % peak height. Adjustable to constant peak  width 
                                       throughout the mass range.
靈敏度（A/Torr）              2 × 10^?4 （FC）, <200 （EM）.
探測限                       5 × 10?11 Torr （FC）,
                                       5 × 10?14 Torr （EM）
測試范圍                      10?4 Torr to UHV （FC）
                                      10?6 Torr to UHV （EM）
操作溫度                      70 °C （max.）
烘烤溫度                      300 °C （without ECU）

離子發生器
結構                              Open ion source, cylindrical symmetry, electron impact ionization
材料                              SS304 construction
燈絲                              Thoriated iridium （dual） with firmware protection. Built-in 1 to 10 W degas ramp-up.
                                      Field replaceable.
電子能量                      25 to 105 V, programmable
離子能量                      8 or 12 V, programmable
焦點電壓                      0 to 150 V, programmable
電子輸出電流              0 to 3.5 mA, programmable

規格
探針尺寸                     8.75" from flange face to top of ionizer
探針孔徑                     2.0"
探針安裝法蘭             2.75" CF
Minimum tube I.D.    1.375"
ECU尺寸                    3.1" × 4.1" × 9.1" （WHD）. Easily separated from the probe for bakeout. 
LED指示燈                 Power ON/OFF, filament ON/OFF,degas ON/OFF, electron multiplierON/OFF, RS-  
                                     232 Busy, Error,Overpressure, Burnt Filament
預熱時間                    Mass stability ±0.1 amu after 30 minutes
電腦接口                    RS-232C, 28,800 baud with highlevel command set
軟件                            Windows based application
電源要求                   24 VDC @ 2.5 amps, male DB9 connector, optional built-in power module for AC  
                                    line operation