簡(jiǎn)要描述：UGA系列大氣分析設(shè)備：技術(shù)的質(zhì)譜分析儀，壓強(qiáng)測(cè)試范圍從大氣到超高真空壓強(qiáng)，是在線(xiàn)監(jiān)測(cè)和混合氣體分析的理想設(shè)備。無(wú)論檢測(cè)受限制的污染物，溶劑，氫化物，制冷劑或者是腐蝕性氣體，UGA都能勝任。UGA的應(yīng)用包括半導(dǎo)體尾氣檢測(cè)，雜物箱分析，燃料電池的研究，氟利昂檢測(cè)，污染檢測(cè)，發(fā)酵研究和簡(jiǎn)單真空分析

UGA系列大氣分析設(shè)備

技術(shù)的質(zhì)譜分析儀，壓強(qiáng)測(cè)試范圍從大氣到超高真空壓強(qiáng)，是在線(xiàn)監(jiān)測(cè)和混合氣體分析的理想設(shè)備。無(wú)論檢測(cè)受限制的污染物，溶劑，氫化物，制冷劑或者是腐蝕性氣體，UGA都能勝任。UGA的應(yīng)用包括半導(dǎo)體尾氣檢測(cè)，雜物箱分析，燃料電池的研究，氟利昂檢測(cè)，污染檢測(cè)，發(fā)酵研究和簡(jiǎn)單真空分析。

UGA系統(tǒng)自帶windows軟件，實(shí)時(shí)采集數(shù)據(jù)和圖形化顯示，操作方便快捷。軟件功能中包含模擬的柱狀掃描模式、壓力和時(shí)間關(guān)系圖、檢漏測(cè)試、氣體分析和在線(xiàn)分析。標(biāo)準(zhǔn)的GPIB和RS232接口方便與計(jì)算機(jī)連接控制。

UGA系列大氣分析設(shè)備

UGA系列氣體分析儀包含三種質(zhì)譜范圍：分辨是100amu、200amu、300amu。

UGA系列大氣分析設(shè)備詳細(xì)參數(shù)如下：
♦入口類(lèi)型      1 to 760Torr                       不銹鋼和毛細(xì)管
                10⁻¹ to 10⁻⁴ Torr               1/8" to 1/4" 管型通道
                 <10⁻⁴  Torr                        2.75"CF法蘭
流量                  1 to 10 毫升/分鐘 （標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下）
♦質(zhì)譜儀器
類(lèi)型                                             四（RGA） 
探測(cè)器                                         法拉第杯和電子倍增管
質(zhì)譜范圍                                     100, 200 or 300 amu
分辨率                                         Better than 0.5 amu(at 10 % of peak height)
探測(cè)限                                     Less than 1 ppm
工作壓力                                     5 × 10⁻⁶Torr

♦系統(tǒng)
高真空泵 渦輪分子泵
隔膜泵                                         超低壓隔膜泵